Sviluppo dei processi e servizi CMP
Accelera il tuo processo CMP con Entrepix CMP Foundry
Entrepix offre servizi relativi ai processi CMP, sviluppo di processi CMP, consulenza in materia di CMP, ottimizzazione dei processi, valutazione dei materiali di consumo e lavorazione CMP in outsourcing per applicazioni nel settore dei semiconduttori e dei materiali avanzati.
Il nostro team di esperti applicativi unisce una profonda conoscenza dei processi CMP a attrezzature di sviluppo dedicate e a capacità avanzate di pulizia dei wafer e metrologia, per aiutare i clienti a risolvere problemi complessi di planarizzazione, abbreviare i cicli di sviluppo e ridurre i rischi.
Dalla valutazione della fattibilità iniziale del CMP allo sviluppo e alla convalida di un processo di registrazione completo (POR), Entrepix mette a disposizione le competenze e l’infrastruttura necessarie per portare avanti il vostro processo
In che modo la foundry CMP di Entrepix può essere d’aiuto?
Ogni sfida legata al CMP è diversa. I materiali, le strutture dei dispositivi, i materiali di consumo, le apparecchiature, i requisiti di pulizia e gli obiettivi prestazionali influenzano tutti il processo finale.
Entrepix lavora in stretta collaborazione con i clienti per sviluppare nuovi processi CMP, ottimizzare quelli esistenti e valutare potenziali soluzioni. La nostra vasta esperienza in materia di processi e il nostro ambiente dedicato alla ricerca e sviluppo consentono di sperimentare e perfezionare i processi senza impegnare le preziose attrezzature di produzione dei clienti.
Servizi di elaborazione CMP su misura per la vostra applicazione
Sviluppo dei processi CMP
Sviluppare e convalidare i processi CMP per materiali complessi, strutture dei dispositivi e applicazioni emergenti.
Ottimizzazione dei processi CMP
Migliorare il tasso di rimozione, l'uniformità, il tasso di difettosità, la qualità superficiale, le prestazioni di pulizia e la stabilità complessiva del processo.
CMP Consulting
Accedi a un servizio di assistenza esperto per le applicazioni CMP, dedicato alla risoluzione dei problemi di processo, alla revisione tecnica e all'ottimizzazione.
Valutazione di materiali di consumo e hardware
Effettuare valutazioni controllate e comparative tra sospensioni, tamponi, prodotti chimici per la pulizia post-CMP, componenti hardware e altre variabili di processo.
Verifica di fattibilità e sviluppo del POR
Verificare se i nuovi materiali e le nuove strutture siano in grado di resistere con successo al processo CMP, quindi sviluppare e convalidare un processo ottimizzato da adottare come standard.
Produzione CMP in outsourcing
Accedete a servizi di elaborazione CMP qualificati per programmi di sviluppo, startup, produzione pilota o applicazioni in cui la capacità interna è limitata.
Dalla “CMP Challenge” al “Process of Record”
Un percorso strutturato per lo sviluppo dei processi CMP
Per sviluppare con successo un processo CMP non basta individuare una ricetta di lucidatura. Entrepix valuta l’interazione tra il substrato o il dispositivo, la configurazione dell’attrezzatura, i materiali di consumo, i prodotti chimici, i processi di pulizia e i requisiti prestazionali, al fine di sviluppare una soluzione su misura per la vostra applicazione specifica.
Definizione dei requisiti
Materiali
Struttura del dispositivo
Vincoli di integrazione
Obiettivi prestazionali
Sviluppare
Attrezzature CMP
Sospensioni e pad
Prodotti chimici
Parametri di processo
Convalida
Rimozione e uniformità
Difettosità
Qualità superficiale
Pulizia e metrologia post-CMP
Scala
Processo di registrazione
Qualificazione
Trasferimento del processo
Produzione / iFlow
Applicazioni e materiali CMP
Vasta esperienza nei processi e nei materiali CMP
Entrepix ha sviluppato competenze nel campo del CMP sia nei processi tradizionali dei semiconduttori sia nelle applicazioni emergenti, nei semiconduttori composti e nei materiali avanzati per substrati. Questa ampia base di conoscenze consente di ridurre il lavoro di ricerca iniziale necessario per lo sviluppo di un nuovo processo.
CMP tradizionale
- Ossido
- Tungsteno
- Rame
- Metalli da barriera
- STI
- Polisilicio
- Dielettrici a bassa costante dielettrica
- Dielettrici a costante dielettrica ultra-bassa
- Cancelli in metallo
- Dielettrici ad alto k
- Alluminio
- Analogico e RF
- ILD
- TSV
Applicazioni avanzate ed emergenti
- Soluzioni di packaging avanzate per l'intelligenza artificiale
- Fotonica e guide d'onda
- MEMS
- µLED
- Informatica quantistica
- Incollaggio diretto dei wafer
- Wafer ultrasottili
- Dispositivi di potenza
- Matrici di rilevatori
- LED e ottica
- Dispositivi innovativi / Dispositivi "More-than-Moore"
Substrati e materiali avanzati
- Silicio e SOI
- InP e InGaP
- GaAs e AlGaAs
- GaN
- SiC
- SiGe
- Zaffiro
- Diamante e DLC
- Niobato/tantalato di litio
- Quarzo e vetro
- AlN su silicio
- GaN su silicio
Capacità della fonderia CMP
Sviluppo utilizzando un’infrastruttura CMP rilevante per la produzione
Lo sviluppo di un processo CMP di successo richiede la capacità di lucidare, pulire, caratterizzare e ripetere il processo. La CMP Foundry di Entrepix combina apparecchiature CMP, pulizia post-CMP e capacità metrologiche in un ambiente di sviluppo dedicato.
Piattaforme CMP rilevanti per la produzione
IPEC 472
Apparecchiature CMP a supporto dello sviluppo dei processi, dell'ottimizzazione, dei test e della qualificazione.
Pulizia post-CMP
Funzionalità avanzate di pulizia dei wafer post-CMP per lo sviluppo di processi integrati di CMP e pulizia.
Fonderia CMP dedicata
Ambiente in camera bianca dedicato allo sviluppo dei processi CMP, alla valutazione dei materiali di consumo e ai test.
Misurare e verificare i risultati
Accelera il tuo percorso verso il POR
Oltre 50 anni di esperienza nel settore CMP e pulizia presso
AMPIO PORTAFOGLIO DI PROCESSI CMP
Partire dalle conoscenze già acquisite, non da zero
STRUTTURA DEDICATA ALLA RICERCA E SVILUPPO
Sviluppare senza intaccare la capacità produttiva
ZERO CMP INVESTIMENTO DI CAPITALE
Accedi ad attrezzature, competenze e strumenti di metrologia in base alle tue esigenze
Servizi di processo integrati e distribuiti iFab™
Quando il tuo processo non si ferma al CMP
Molti programmi di sviluppo di semiconduttori e materiali avanzati richiedono diverse fasi di processo specializzate che vanno oltre la CMP e la pulizia post-CMP. Il coordinamento di tali competenze tra diversi fornitori può comportare un aumento dei tempi, della complessità e dei rischi nel processo di sviluppo.
iFab™ estende i servizi di processo CMP di Entrepix oltre il settore delle fonderie integrando le competenze chiave di CMP, pulizia dei wafer e metrologia con risorse complementari per i processi dei semiconduttori. I clienti possono avvalersi di Entrepix sia per una singola fase di processo sia per un coordinamento più ampio di un flusso di processo distribuito.
Il risultato è un approccio più integrato allo sviluppo dei processi, che consente al vostro team di concentrarsi sull'applicazione, mentre Entrepix si occupa di coordinare le attività necessarie per passare dall'idea iniziale a un processo qualificato.
PULIZIA CMP + POST-CMP
e Acquisizione dei wafer
e dei wafer Arrotondamento dei bordi
Analisi
e temporanea e diretta Incollaggio di wafer
e molatura posteriore
Sei pronto a risolvere più velocemente la tua prossima sfida CMP?
Che si tratti di sviluppare un processo per un nuovo materiale, ottimizzare un processo CMP esistente, valutare i materiali di consumo o prepararsi ad aumentare la produzione, Entrepix mette a disposizione le competenze, le attrezzature e le risorse necessarie per lo sviluppo dei processi, aiutandovi a raggiungere i vostri obiettivi più rapidamente e con minori rischi.
Trasformiamo la tua sfida CMP in un processo pronto per la produzione.