Il nuovo Entrepix
È arrivato il sistema OnTrak di nuova generazione, direttamente dall'OEM
Il moderno pulitore bifacciale Entrepix DSS-200 per wafer post-CMP offre le stesse funzionalità del sistema OnTrak, con numerosi aggiornamenti per soddisfare le esigenze dei processi di pulizia odierni.
In qualità di OEM per i sistemi OnTrak, Entrepix ha progettato il NUOVO DSS-200 OnTrak per garantire affidabilità e longevità, con assistenza e ricambi su cui poter contare.
I nostri pulitori DSS-200 offrono:
Moderno sistema di controllo basato su Windows™
Tecnologia Advanced Precision Touch per la movimentazione di wafer destinati a substrati ultrasottili e fragili
Scambiabilità delle parti con i sistemi OnTrak precedenti
Configurazione per substrato da 100-200 mm
Adattamento a wafer più piccoli con supporti progettati su misura
Le applicazioni del DSS-200 includono:
Pulizia post-CMP
Pulizia pre-bond
Pulizia pre-fotografica
Applicazioni di packaging avanzato
Post-deposizione del metallo
Deposito post-ILD
Post-scrivere
Produzione del substrato
Il nuovo sistema di controllo Entrepix enTrak per il DSS-200 massimizza l'affidabilità dell'utensile, evita i tempi di inattività dovuti all'obsolescenza e semplifica la configurazione e l'accesso da parte dell'utente.
Sistema moderno basato su Windows™
Funzionalità avanzata di recupero dei wafer
Maggiore tracciabilità grazie alla registrazione degli eventi
Sicurezza avanzata con il controllo degli accessi basato sui ruoli (RBAC)
Messaggi di allarme configurabili
Implementazione della schermata di programmazione del robot per tempi di configurazione rapidi
Procedura di aggiornamento semplice
Aggiornamenti OnTrak
Gli aggiornamenti per i sistemi OnTrak precedenti con supporto OEM sono disponibili per voi, pronti all'uso. Le opzioni di aggiornamento includono:
Aggiornamento del sistema di controllo e del software
Carrello di rotazione in Hastelloy
Lampada termica ad alta efficienza
Pulizia megasonica
Conservazione dell'acqua DI
Erogazione attraverso lo spazzolino
Diluizione in linea della miscela
Kit per la modifica delle dimensioni dei wafer, comprese le dimensioni personalizzate
Assistenza ricambi OnTrak
Entrepix fornisce componenti OEM di alta qualità non solo per la nuova generazione di pulitori DSS-200, ma anche per le piattaforme Lam OnTrak DSS Serie 1, Serie 2 Classic e CE, Synergy e Integra.
Tutti i ricambi OnTrak sono selezionati o progettati per soddisfare e superare gli standard originali. Eseguiamo ispezioni approfondite in entrata e in uscita per garantire ai nostri clienti di ottenere esattamente ciò di cui hanno bisogno.
Soluzioni personalizzate PM Kit
Sia che abbiate un DSS-200 nuovo di zecca con una configurazione standard, sia che abbiate un sistema OnTrak collaudato da decenni con una moltitudine di personalizzazioni, abbiamo il kit PM che fa per voi. Il nostro gruppo di esperti e ingegneri è in grado di consigliarvi la soluzione migliore per le vostre esigenze e di assemblare un kit PM per la vostra applicazione specifica.
| Entrepix Serie 2 CE | Sinergia Entrepix | Entrepix Integra | |
|---|---|---|---|
| Metodo di pulizia | Spazzola Scrub | Spazzola Scrub | Spazzola Scrub |
| Integrato | No | No | Sì |
| Tipo di spazzola | Rullo PVA | Rullo PVA | Rullo PVA |
| Controllo della deportanza | Sì | Sì | Sì |
| Bordo Scrub | Opzionale | Opzionale | Opzionale |
| Trasduttore MegPie™ Megasonico | Opzionale | Opzionale | Opzionale |
| Ugello megasonico | Opzionale | Opzionale | Opzionale |
| Spruzzo di acqua DI ad alta pressione | Opzionale | Opzionale | Opzionale |
| Alimentazione acqua DI riscaldata | Opzionale | Opzionale | Opzionale |
| Metodo di asciugatura | Lampada di rotazione e di calore | Lampada di rotazione e di calore | Lampada di rotazione e di calore |
| NH4OH | Sì | Sì | Sì |
| dHF | No | Sì | Sì |
| SC-1 | Pre-diluito: Sì | Sì | Sì |
| SC-2 | A base citrica: Sì | A base di acido citrico o HCL: Sì | A base di acido citrico o HCL: Sì |
| Retro Chimico | Sì | Sì | Sì |
| Detergenti CMP per metalli | Sì | Sì | Sì |
| Pulizia STI CMP | Sì | Sì | Sì |
| Area di processo a doppio contenitore | No | Sì | Sì |
Hai qualche problema con la pulizia dei wafer?
La chimica può essere d'aiuto! Chiedeteci informazioni sui prodotti chimici per la pulizia personalizzati realizzati in collaborazione con Intersurface Dynamics, azienda partner di Amtech.
