
Aggiornamenti delle apparecchiature
Gli aggiornamenti a livello OEM di Entrepix garantiscono maggiore efficienza, precisione e affidabilità.
Aggiornamenti OnTrak
Entrepix può aggiornare molti aspetti delle funzionalità di OnTrak:
Sostituzione di hardware e software, aggiornamento del sistema di controllo
Sistema di dati e file di log
Recupero di wafer basato su moduli
Motore a spazzole e carrello
Carrello in Hastelloy
Sicurezza e produttività delle lampade termiche
Acqua DI e monitor di flusso
Retrofit di diluizione in linea della miscela
USB e disco rigido a stato solido
Pinza a cinque dita per wafer
Retrofit dell'alimentazione
PCB
Sostituzione di componenti obsoleti
Applied Materials Mirra si aggiorna
Entrepix crea aggiornamenti, parti di ricambio, soluzioni personalizzate e servizi di manutenzione preventiva che sostengono e migliorano le prestazioni della piattaforma Mirra per i prossimi 10-15 anni.
Gli aggiornamenti disponibili includono:
Motore di rotazione della testa
Driver del motore di spazzata della testa
Conducente di robot bagnato
Aggiornamenti e sostituzioni del gruppo motore
Gruppo pneumatico superiore (UPA)
Trasferimento UPA
Sostituzione dei collettori rotanti pneumatici e del gruppo collettore rotante
Gestione dei cavi ad alta flessibilità
Sensore di slittamento (perdita) del wafer
Montaggio e aggiornamento del condizionatore DDF3
Soluzioni per la sostituzione delle teste Mirra
Copertura trasparente
Schede a circuito stampato
Gruppo di ricambio completo
Tester per teste di polacco
Apparecchiature di calibrazione e test
Controllo del flusso di fanghi e prodotti chimici
Sostituzione del doppio display
Cassetto di alimentazione CC e unità a stato solido
Riduzione della rottura dei wafer
Materiali di consumo per HCLU e testine di lucidatura
Aggiornamenti di Reflexion® di Applied Materials
Entrepix è entrata nel mercato delle apparecchiature da 300 mm per fornire aggiornamenti, parti di ricambio, soluzioni personalizzate e servizi di manutenzione che sostengono e migliorano le piattaforme Reflexion® utilizzate dalle HVM per gli anni a venire.
Gli aggiornamenti disponibili includono:
Aggiornamenti e sostituzioni del gruppo motore
Gruppo pneumatico superiore (UPA)
Trasferimento UPA (eredità 3 e 4)
Sostituzione dei collettori rotanti pneumatici e del gruppo collettore rotante
Montaggio e aggiornamento del condizionatore DDF3
Soluzioni di sostituzione delle teste Reflexion (Titan, Profiler, Contour, Evo, Horizon)
Coperture trasparenti
Rivestimenti in teflon per la riduzione del PM
Gruppi di ricambio completi
Tester per testine lucidanti Entegrity
Apparecchiature di calibrazione e test
Controllo del flusso di fanghi e prodotti chimici
Materiali di consumo per pulitore, tazza di carico e testina di lucidatura