Programmi e servizi di manutenzione preventiva CMP

  • Servizio di manutenzione preventiva della lucidatrice generale

    Pulizia e ispezioni generali

    Pulire e lubrificare tutte le guide e gli azionamenti

    Attrezzatura di base

    Calibrazioni del carico

    La piastra si è esaurita

    Calibrazioni sweep testa/braccio

    Il carrello e la piastra si sono esauriti

    Calibrazione della forza di discesa

    Calibrazioni della contropressione

    Controllo delle operazioni del condizionatore

    Calibrazioni di scarico

    Problemi specifici dell'utensile affrontati

    Elementi aggiuntivi specifici per il set di attrezzature

  • Manutenzione preventiva del pulitore

    Controllare e calibrare la manipolazione

    Controllo del funzionamento della stazione di rotazione

    Sostituire le cinghie dei rulli spazzola

    Calibrare il parallelismo delle spazzole

    Controllare tutti i cilindri pneumatici

    Rulli e cinghie della stazione di ingresso

    Sostituzione degli o-ring della stazione di ingresso

    Cinghie di trasmissione della stazione di uscita

    Taratura dell'azionamento della stazione di spazzolatura

    O-ring della stazione di spazzolatura

    Regolare la stazione di uscita

    Ispezione delle punte dei sollevatori

  • Manutenzione preventiva dell'ellissometro Rudolph

    Valutazione di base

    Backup dei file di dati

    Esaminare e risolvere i registri degli errori

    Verificare i livelli di vuoto

    Test di manipolazione

    Pulire e lubrificare lo stadio

    Controllare l'offset del centro del palcoscenico, l'ortogonalità e l'eccentricità.

    Controllare la lampada piatta/notch findler

    Monitoraggio dell'intensità del test

    Test dell'intensità del laser HeNe e IR

    Controllare l'uniformità della lampada del microscopio

    Calibrare tutte le lunghezze d'onda

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