
Programmi e servizi di manutenzione preventiva CMP
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Servizio di manutenzione preventiva della lucidatrice generale
Pulizia e ispezioni generali
Pulire e lubrificare tutte le guide e gli azionamenti
Attrezzatura di base
Calibrazioni del carico
La piastra si è esaurita
Calibrazioni sweep testa/braccio
Il carrello e la piastra si sono esauriti
Calibrazione della forza di discesa
Calibrazioni della contropressione
Controllo delle operazioni del condizionatore
Calibrazioni di scarico
Problemi specifici dell'utensile affrontati
Elementi aggiuntivi specifici per il set di attrezzature
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Manutenzione preventiva del pulitore
Controllare e calibrare la manipolazione
Controllo del funzionamento della stazione di rotazione
Sostituire le cinghie dei rulli spazzola
Calibrare il parallelismo delle spazzole
Controllare tutti i cilindri pneumatici
Rulli e cinghie della stazione di ingresso
Sostituzione degli o-ring della stazione di ingresso
Cinghie di trasmissione della stazione di uscita
Taratura dell'azionamento della stazione di spazzolatura
O-ring della stazione di spazzolatura
Regolare la stazione di uscita
Ispezione delle punte dei sollevatori
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Manutenzione preventiva dell'ellissometro Rudolph
Valutazione di base
Backup dei file di dati
Esaminare e risolvere i registri degli errori
Verificare i livelli di vuoto
Test di manipolazione
Pulire e lubrificare lo stadio
Controllare l'offset del centro del palcoscenico, l'ortogonalità e l'eccentricità.
Controllare la lampada piatta/notch findler
Monitoraggio dell'intensità del test
Test dell'intensità del laser HeNe e IR
Controllare l'uniformità della lampada del microscopio
Calibrare tutte le lunghezze d'onda