Lucidatrici SpeedFam IPEC CMP ricondizionate
Entrepix può ricondizionare quattro diversi modelli di lucidatrici SpeedFam IPEC CMP.
SpeedFam IPEC Avanti 472
Specifiche e capacità:
Strumento CMP di precisione completamente automatizzato
Planarizzazione di wafer da 100 mm a 200 mm
Adatta per applicazioni di lucidatura ripetibile dei materiali con flessibilità operativa e di lavorazione
Gestione automatica dei wafer
La capacità di lavorazione di lucidatura a due piastre e a due fasi massimizza la capacità di produzione e la qualità dei wafer
Rimuove il materiale dei semiconduttori utilizzando un impasto di lucidatura per planarizzare i wafer e ottenere planarità e uniformità.
Offre una lucidatura di precisione completamente automatizzata, flessibilità di lavorazione e risultati ripetibili
Dimensioni dei wafer: 2 pollici, 3 pollici, 100 mm, 125 mm, 150 mm e 200 mm.
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